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CPC導軌、CPC直線導軌、CPC線性導軌簡介
CPC線性導軌是由鋼珠在滑塊跟導軌之間無限滾動循環，并將摩擦系數降至平常傳統滑動導引的五十分之一，從而使負載平臺沿著線性導軌輕易的高精度線性運動，能輕易地達到很高的定位精度。滑塊跟導軌間末制單元設計，專利的回流系統及精簡化的結構設計讓上銀的CPC線性導軌有更平順且低噪音的運動。使線性導軌同時承受上下左右等各方向的負荷。
煙臺CPC直線導軌可同時承受上下左右等各方向的負荷，上述陳列特點并非傳統滑動導引所能比擬，因此機臺若能配合滾珠螺桿，使用煙臺CPC直線導軌作導引，必能大幅提高設備精度與機械效能。傳統的滑動導引，無可避免的會因油膜逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時潤滑不充份，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度。而滾動導引的磨耗非常小，故機臺能長時間維持精度。
測量時將平晶貼于被測表面上，若被測表面內凹或外凸，就會出現環形干涉帶，根據環形干涉帶數與光波的半波長的乘積來表示平面度誤差。 如果干涉條紋不封閉，可使光學平晶與被測表面間略微傾斜一個角度，使兩者之間形成一空氣楔。這種按干涉帶的彎曲度與相鄰兩干涉帶之間的比值，再乘以半波長即得誤差值。不過，按此法評定的誤差實際上是以直線度誤差代替了平面度誤差。 過去用平晶只能測小平面。近年來有了平晶干涉儀，應用這種儀器也可以利用平晶干涉法來測量較大的平面。
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