日本精工株式會社（以下簡稱NSK)），已于12月16日（星期三）～12月18日（星期五）出展了在Tokyo Big Sight（東京都江東區(qū)有明）舉辦的“SEMICON Japan 2015”展會。
  
本次展會，NSK展出了新開發(fā)的高精度垂直軸平臺，該產(chǎn)品可滿足下一代半導(dǎo)體的制造裝置要求。同時(shí)，也一并展出市場中廣受好評的氣浮導(dǎo)軌和真空環(huán)境下使用的定位平臺。 
 

   

 開發(fā)背景：

    隨著智能手機(jī)與平板電腦等終端電子零部件小型化、細(xì)微化、三維化的發(fā)展趨勢，生產(chǎn)設(shè)備也在向高性能化方向發(fā)展，因此，市場對設(shè)備中使用的定位平臺提出了高性能、高精度的要求。
 
迄今，NSK已成功開發(fā)出定位平臺高性能化所需要的關(guān)鍵零部件。
 
 ·“高速·靜音&靜音Ⅱ滾珠絲杠”、“高性能滾珠絲杠”、“帶L1密封圈的滾珠絲杠”
 
 · NSK直線導(dǎo)軌TM“NH系列”“NS系列”
 
 · 高性能標(biāo)準(zhǔn)軸承“NSKHPS”
 
    
高精度垂直軸平臺的特點(diǎn)：

 ·垂直導(dǎo)向采用空氣軸承，可達(dá)到±0.1μm以下的平直度重復(fù)精度*1
 
 ·采用新開發(fā)的自重減輕結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)驅(qū)動馬達(dá)小型化（50%以下）
 
 ·可達(dá)到與ISO規(guī)格中最高等級1級相當(dāng)?shù)那鍧嵍?2
 
 ·采用楔形結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)垂直方向的高精度定位
 
     *1：0.1μm = 1/10000mm
 

     *2：所謂ISO 等級1級是指每立方米中0.1μm的粒子數(shù)量小于10個(gè)